| »mμFocus« avec capteur »zep« et piètement | 250 kg |
| »mμFocus« avec capteur »zep-R« et piètement | 270 kg |
| »mμFocus« avec capteur »zep« sans piètement | 75 kg |
| Axe Z | 300 mm |
| AA (distance minimale entre l'objectif et l'objet à mesurer) | Projection de franges 3 |
| Principe de mesure | 0 mm |
| Rayon minimal mesurable | 3 μm |
| Ouverture numérique | – |
| Axe Z | 300 mm |
| AA | 20 mm |
| Principe de mesure | Microscope confocal |
| Plus petit rayon mesurable | 3 μm (valeurs pour un objectif 20x ; valeurs pour un objectif 50x : 1,4 μm) |
| Ouverture numérique | 0,42 mm |
| Ra | moyenne arithmétique sur toute la longueur de mesure |
| Rq | moyenne quadratique |
| Rt | hauteur totale du profil de rugosité |
| Rmax | hauteur maximale du profil de rugosité sur un segment de mesure unique |
| Rz | hauteur moyenne du profil de rugosité |
| Rp | Hauteur du pic le plus élevé du profil de rugosité |
| Rv | Profondeur du creux le plus profond du profil de rugosité |
| Rk | Profondeur de rugosité du noyau, hauteur de la zone centrale |
| Rpk | Hauteur de pic réduite |
| Rvk | Profondeur de creux réduite |
| Mr1 | Part de matière au-dessus de la zone centrale (courbe d'Abbott) |
| Mr2 | Part de matière porteuse (courbe d'Abbott) |
| Rsm | Largeur moyenne des éléments du profil |
| RPc | Nombre de pics |
| Sa | hauteur arithmétique moyenne de la surface limitée par l'échelle |
| Sq | hauteur quadratique moyenne de la surface limitée par l'échelle |
| Sp | hauteur maximale des pics de la surface limitée par l'échelle |
| Sv | Profondeur maximale des creux de la surface à échelle limitée |
| Sz | Hauteur maximale de la surface à échelle limitée |
| S10z | Hauteur en dix points de la surface |
| Ssk | Asymétrie de la surface à échelle limitée |
| Sku | kurtosis de la surface à échelle limitée |
| Sdq | gradient quadratique moyen de la surface à échelle limitée |
| Sdr | rapport de surface développée d’une surface à échelle limitée |
| FLT | planéité |
| Sk | hauteur du noyau |
| Spk | Hauteur réduite des pics |
| Svk | Hauteur réduite des creux |
| Smr1 | Proportion de matière dans les pics |
| Smr2 | Proportion de matière dans les creux |
| Vmc | Volume de matière du noyau d’une surface à échelle limitée |
| Vmp | Volume de matière des pics d’une surface à échelle limitée |
| Vvc | Volume vide du noyau d’une surface à échelle limitée |
| Vvv | Volume vide des creux d’une surface à échelle limitée |
| Sxp | Valeur extrême de la hauteur des pics |
| Str | Rapport d’aspect de la texture de surface |
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