| »mμFocus« con sensor »zep« y bastidor inferior | 250 kg |
| »mμFocus« con sensor »zep-R« y bastidor inferior | 270 kg |
| »mμFocus« con sensor »zep« sin bastidor inferior | 75 kg |
| Eje Z | 300 mm |
| AA (describe la distancia mínima entre el lente y el objeto de medición) | Proyección de rayas 3 |
| Principio de medición | 0 mm |
| Radio mínimo medible | 3 μm |
| Apertura numérica | – |
| Eje Z | 300 mm |
| AA | 20 mm |
| Principio de medición | Microscopio confocal |
| Radio mínimo medible | 3 μm (valores para objetivo de 20 aumentos; valores para objetivo de 50 aumentos: 1,4 μm) |
| Apertura numérica | 0,42 mm |
| Ra | valor medio aritmético a lo largo de toda la longitud de medición |
| Rq | valor medio cuadrático |
| Rt | altura total del perfil de rugosidad |
| Rmax | altura máxima del perfil de rugosidad dentro de un tramo de medición individual |
| Rz | altura media del perfil de rugosidad |
| Rp | altura del pico más alto del perfil de rugosidad |
| Rv | profundidad del valle más profundo del perfil de rugosidad |
| Rk | profundidad del núcleo, altura de la zona central |
| Rpk | altura reducida de los picos |
| Rvk | profundidad reducida de los valles |
| Mr1 | porcentaje de material por encima de la zona central (curva de Abbott) |
| Mr2 | porcentaje de material que soporta la carga (curva de Abbott) |
| Rsm | Ancho medio de los elementos del perfil |
| RPc | Número de picos |
| Sa | altura aritmética media de la superficie limitada por la escala |
| Sq | altura cuadrática media de la superficie limitada por la escala |
| Sp | altura máxima de los picos de la superficie limitada por la escala |
| Sv | altura máxima de los valles de la superficie limitada por la escala |
| Sz | altura máxima de la superficie limitada por la escala |
| S10z | Altura de diez puntos de la superficie |
| Ssk | Asimetría de la superficie limitada por escala |
| Sku | Kurtosis de la superficie limitada por escala |
| Sdq | Gradiente cuadrático medio de la superficie limitada por escala |
| Sdr | Relación de superficie desarrollada de una superficie limitada por escala |
| FLT | planitud |
| Sk | altura del núcleo |
| Spk | altura reducida de las puntas |
| Svk | altura reducida de los valles |
| Smr1 | proporción de material de las puntas |
| Smr2 | proporción de material de los valles |
| Vmc | Volumen del material del núcleo de una superficie limitada por escala |
| Vmp | Volumen del material de los picos de una superficie limitada por escala |
| Vvc | Volumen vacío del núcleo de una superficie limitada por escala |
| Vvv | Volumen vacío de los valles de una superficie limitada por escala |
| Sxp | Valor extremo de la altura de los picos |
| Str | Relación de aspecto de la textura de la superficie |
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